公司现在研发的半导体设备,就是第三代光刻机
在这里,有必要介绍一下光刻机的发展历程
首先是光刻机的代际划分,其实是按光源算的,波长越短越先进
第一二光刻机分别是接触、接近式光刻机,光源是不同类型的汞灯,但一个产品不良率高,一个要用到介质容易影响成像,都不太理想
直到第三代,光源改成了氟化氪准分子激光,工作方式变成了扫描投影光刻
公司现在研发的半导体设备,就是第三代光刻机
穿成高冷校草的炮灰攻:[小说]什么是世间最有价值的宝物?即便我偷遍天下无敌手,我仍是得不到那最想要的星雨城,某处茶馆内,一群人议论 发表于 2022-08-16 00:00:00在这里,有必要介绍一下光刻机的发展历程
反派:开局打压主角截胡校花:上架感言 发表于 2021-10-28 10:45:01首先是光刻机的代际划分,其实是按光源算的,波长越短越先进
七零团宠:极品家人的炮灰娇娇女:第464章 全文大结局 发表于 2022-04-05 02:20:45第一二光刻机分别是接触、接近式光刻机,光源是不同类型的汞灯,但一个产品不良率高,一个要用到介质容易影响成像,都不太理想
以诗化剑,才气杀敌,被直播了:第六十六章 连杀,取首级如探囊取物 发表于 2021-09-23 16:19:15直到第三代,光源改成了氟化氪准分子激光,工作方式变成了扫描投影光刻
追鹿:STORY ENDS 发表于 2020-05-26 06:06:44